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第二十一章 真空镀膜(下)

升温程序需要跑一个多小时。

    在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

    陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

    分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。

    分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。

    这个时间在半小时至一个半小时之间。

    如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。

    一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料膜;

    另一种是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”

    虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更舒服一些。

    而且两个人站一起一直不互动也蛮尴尬的。

    ……

    一小时后。

    真空计示数达到5.2E-5帕,升温程序也进入第
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