第二十一章 真空镀膜(下)
可以正常工作,约需要耗时10分钟。
待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉升温数控装置。
装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。
他打开设定界面。
这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。
还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:
SP130
RATE30
TIME60
SP2400
RATE30
TIME3
SP3520
RATE20
TIME100
第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;
第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;
第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。
确认无误后,他长按启动键,启动程序。
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