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第二十一章 真空镀膜(下)

可以正常工作,约需要耗时10分钟。

    待分子泵运转平稳后,许秋打开束源炉挡板,然后启动束源炉升温数控装置。

    装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度,分别为27和30摄氏度。

    他打开设定界面。

    这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法,主要用于数字显示,所以显示出来的字母都很抽象。

    还好都是常用的单词,许秋花了点时间弄明白每个参数的意义后,手动设定升温程序:

    SP130

    RATE30

    TIME60

    SP2400

    RATE30

    TIME3

    SP3520

    RATE20

    TIME100

    第一阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至30摄氏度,等待60分钟;

    第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

    第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

    确认无误后,他长按启动键,启动程序。

    
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