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第二十一章 真空镀膜(下)

率为0.00埃每秒,膜厚为0.00埃。

    同时,许秋观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强。

    其中一个示数为一个大气压,即1.0E5帕,另外一个则处于未工作状态。

    “为什么要安装两个气压计呢?”许秋疑惑道。

    “两者的压强测定范围不同,前者约为0.1到10000帕,后者约为十的负六次方到1帕。”陈婉清道,随后又补了一句:

    “准备工作都好了,开始抽真空吧。”

    许秋点点头,按下机械泵的启动键,同时打开超真空挡板阀,又是一阵轰鸣声传来。

    “蒸镀操作的噪音有点大啊。”习惯了之前安静实验环境的许秋,忍不住吐槽道。

    “是啊,不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。

    机械泵启动后,气压计的示数快速减小。

    从1.0E5,迅速变为3.2E4,然后是8.9E3,直至1E3帕左右,下降速度才开始变慢。

    过了两分钟左右,压强终于降至20帕以下,许秋关闭超真空挡板阀,打开分子泵。

    分子泵的转速要从0逐渐加速至27000r.p.m.后,它才
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