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第二十一章 真空镀膜(下)

电流大小。

    许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培。

    当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。

    电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。

    蒸镀速率则先是从0.2、0.3迅速提升至3.0,随后迅速回落至1.8,之后缓缓下降至1.7,1.6埃每秒……

    电流计的示数也会随着时间变化,忽上忽下。

    每当其相较于18的偏离值超过1时,许秋就将其调至18。

    铝的厚度要求是100纳米,也就是1000埃。

    待膜厚仪示数达到1000埃时,许秋迅速按下样品挡板。

    然后缓缓扭动电位器,将电流归零。

    接着关闭超真空挡板阀,停止分子泵。

    等待十分钟后,分子泵转速从27000r.p.m.降至0,关闭其开关。

    最后,关闭机械泵,关闭总控台。

    …………

    “终于结束啦!”许秋长吁了一口气,感慨道。

    “这么多操作,居然零失误,厉害呀!”陈婉清
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