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第一百一十六章 真·热旋涂

  他也曾和陈婉清讨论过这个问题,但没有得到答案。

    “具体原因我也不清楚,”许秋如实相告:

    “我推断多半是溶液成膜时受热不均匀所致。

    溶液和基片的温度非常高,在常温的外界环境下难以保持这个温度,会逐渐降温。

    而溶液是从基片中心向四周扩散的,那么就是中心部位先成膜,四周后成膜。

    假设中心和四周温度降低的速率一致,那么后成膜的四周部位,成膜温度就偏低。

    这或许是薄膜中央出现一个圆形图案的原因。”

    “我觉得师兄讲的很有道理。”韩嘉莹道。

    “我也觉得是这个原因,”陈婉清道:

    “不过,纠结这种问题意义也不大,换台带加热的旋涂仪问题就解决了。”
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