也是有寿命的，所以需要定期更换晶振片，并重新标定厚度。”

    舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台。

    陈婉清道：“蒸镀过程中，气态靶材分子会在舱体内运动。当金属挡板打开时，可以阻挡靶材分子到达样品表面，所以它叫做样品挡板。开始蒸镀时，需将其打开。样品台可以旋转，其下方有掩模版，用来得到特定的薄膜图案，而它上面的样品支架可以取下来装样品，装好后再安装回去。”

    将舱内情况了解完毕后，许秋开始做蒸镀前的准备工作。

    两批基片的器件结构不同，需要分两次进行蒸镀。

    第一批是正常结构，也就是蒸镀钙和铝。

    许秋首先在钨篓中装满99.995%纯度的铝锭，然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板。

    挡板的开关是数控的，需要在手套箱外的总控台操作。

    打开挡板后，他取出束源炉内部的陶瓷坩埚，将上次使用后剩余的残渣倒出，再加入两勺新的99.995%纯度的钙粉末。

    陶瓷坩埚是特质的，可以至少承受1000摄氏度以上的高温，且十分稳定，不会与靶材反应，产生杂质。

    完成后
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