第十六章 旋涂
片,将基片放在匀胶机的平台上。
平台下面有一小孔,连接着真空泵,用来确保在高速旋转过程中,基片不会移动。
他设定好匀胶机的参数,转速是3000转每分钟,旋转时间设为60秒。
然后用针筒挤出约0.1毫升的PEDOT溶液到基片中央,再用过滤头的末端拖动液面,使溶液覆盖满整个基片。
接着按下启动键,匀胶机自动开启真空泵,并按照预设的参数运行,待平台完全停止转动后,自动关闭真空泵。
又是一个类似于超声波清洗仪的傻瓜式机器。
许秋用镊子夹起旋涂好的基片,仔细检查,发现旋涂的非常完美,蓝紫色的薄膜覆盖了整个基片,而且薄膜表面光滑,没有孔洞。
将基片放回原培养皿,继续夹起下一片。
重复旋涂12次后,11片完美,仅有一片略有瑕疵,只涂上了四分之三的面积。
许秋将有瑕疵的那片丢入旧基片盒子中。
接下来,是热退火步骤。
对于PEDOT:PSS薄膜来说,退火的主要作用是除掉其中残留的水分,所以只需要温度比水的沸点稍高即可。
许秋将旋涂好的基片
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